波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201910818563.4
IPC分类号：G02B6/13;G02B6/122;G01N21/31
申请日期：
2019-08-30
申请人：
北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国网江西省电力有限公司;国家电网有限公司

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专利名称	波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器
申请号	CN201910818563.4	申请日期	2019-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-26	公开/公告号	CN110501781A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/13 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕 G02B6/13 以制作方法为特征的集成光路〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;3;;;G;0;2;B;6;/;1;2;2;;;G;0;1;N;2;1;/;3;1查看分类表>
申请人	北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国网江西省电力有限公司;国家电网有限公司	申请人地址	北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京智芯微电子科技有限公司,国网信息通信产业集团有限公司,国网江西省电力有限公司,国家电网有限公司	当前权利人	北京智芯微电子科技有限公司,国网信息通信产业集团有限公司,国网江西省电力有限公司,国家电网有限公司
发明人	乔磊;廖志军;刘瑞;郑哲;崔文朋;池颖英;陈婷;李春晖;李纪平
代理机构	北京中誉威圣知识产权代理有限公司	代理人	孙彦斌;赵莎莎

摘要

本发明公开了一种波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，波导的形成方法包括下列步骤：在硅衬底上生长绝缘层；在绝缘层的表面旋涂光刻胶；光刻光刻胶并形成波导结构；在波导结构内气相淀积玻璃以形成玻璃波导层；应用剥离技术除去没有被光刻的光刻胶以及位于波导结构以外的玻璃以形成波导主体；在波导主体上旋涂聚合物；光刻聚合物并固化后以形成腔室支柱；以及将腔室支柱的顶部通过键合技术形成腔室，多个腔室连接形成波导。本发明的波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，其采用无源设计增加产品寿命、提升传感器灵敏度、具备实时在线监测功能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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