相位差控制装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201980014264.3
IPC分类号：G01J4/04;G01N21/19;G02B27/28;G02F1/01;G05D25/00
申请日期：
2019-01-30
申请人：
日本分光株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	相位差控制装置
申请号	CN201980014264.3	申请日期	2019-01-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-02	公开/公告号	CN111742202A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J4/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J4/00 测量光的偏振〔2〕 G01J4/04 用电检测方法的偏振计（G01J 4/02优先）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;J;4;/;0;4;;;G;0;1;N;2;1;/;1;9;;;G;0;2;B;2;7;/;2;8;;;G;0;2;F;1;/;0;1;;;G;0;5;D;2;5;/;0;0查看分类表>
申请人	日本分光株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本分光株式会社	当前权利人	日本分光株式会社
发明人	三好有一
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇

摘要

本发明涉及一种能够在CD光谱仪中利用的相位差控制装置的响应性改善技术。相位差控制装置具备：分割偏振器(14)，其将来自光源(12)的光分割成直线偏振的测定光和直线偏振的参照光；PEM(16)，其以与分光测定相对应的方式对测定光和参照光赋予相位差；PEM驱动器(18)，其向PEM(16)供给调制电压；PEM控制电路(24)，其输入参照光作为反馈信号，并且向PEM驱动器(18)输出调制控制量信号，相位差控制装置还具备CPU电路(26)，该CPU电路监视分割偏振器(14)的光的波长，并输入波长变化作为波长信号，CPU电路(26)将波长信号变换成前馈信号，前馈信号被输出到PEM控制电路(24)，PEM控制电路(24)进行基于反馈信号和前馈信号的运算处理，来向PEM驱动器(18)输出调制控制量信号。

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