薄膜太阳能电池用高纯钼靶的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110036001.8
IPC分类号：C23C14/34;H01L31/18
申请日期：
2011-02-11
申请人：
韩伟东

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专利名称	薄膜太阳能电池用高纯钼靶的制备方法
申请号	CN201110036001.8	申请日期	2011-02-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-07-20	公开/公告号	CN102127741A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	韩伟东	申请人地址	陕西省宝鸡市渭滨区马营镇永清工业园25号宝鸡市博信金属材料有限公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	韩伟东	当前权利人	韩伟东
发明人	韩伟东;王玉华;孟勇;韩寅奔
代理机构	宝鸡市新发明专利事务所	代理人	席树文

摘要

本发明目的是提供一种薄膜太阳能电池用高纯钼靶制备方法，以提高太阳能电池的质量。工艺流程为：原料钼酸铵→焙烧制备Mo3→通入高纯氢气在温度450-600℃一次还原成Mo2→再次通入高纯氢气在温度为950-1050℃二次还原成Mo→混料→筛分→等静压成型→经过多次充放高纯氢气后中频感应炉烧结，烧结温度1950-2000℃→大功率电子束熔炼提纯→1400-1450℃锻造→1350-1450℃热轧→900-1000℃热处理退火→机械加工→超声波清洗→钎焊靶托→性能测试及检验。本发明优点是薄膜太阳能电池用高纯钼靶具有高纯度、高密度和良好的均匀性的特点，极大提高了溅射靶材的利用率，应用于太阳能电池行业具有很高的价值。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN1253865A	2000-05-24	1998-11-12	用电子束熔炼法制造钼电极坯和钼流口坯的方法失效专利	北京有色金属研究总院
2	CN101956159A	2011-01-26	2010-09-30	一种高纯钼溅射靶材的制备方法无效专利	金堆城钼业股份有限公司
3	CN101792897A	2010-08-04	2010-04-06	薄膜太阳能电池用高纯钼靶及其制备方法无效专利	韩伟东
4	JP2003342720A	暂无	2002-05-20	Method of producing molybdenum target for sputtering and molybdenum target公开	Nippon Steel Corp;新日本製鐵株式会社

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN102983219A	2012-12-03	2012-12-03	薄膜太阳能电池组件的制备方法有效专利	深圳先进技术研究院;香港中文大学
2	CN103114213A	2012-11-08	2012-11-08	蓝宝石生长炉用高纯钼制备方法无效专利	宝鸡市博信金属材料有限公司
3	CN104520466B	2013-03-12	2013-03-12	具有界面部分的多块溅射靶及相关方法和物品有效专利	H·C·施塔克公司
4	CN103805952A	2013-12-12	2013-12-12	一种大尺寸高纯钨靶材及其生产方法有效专利	株洲硬质合金集团有限公司
5	CN102628107A	2012-04-18	2012-04-18	真空感应电子束熔炼二次提纯铜的方法无效专利	吉安市荣泰电讯科技有限公司
6	CN103132033B	2013-03-26	2013-03-26	一种制备钼靶的方法有效专利	金堆城钼业股份有限公司
7	CN104520466A	2013-03-12	2013-03-12	具有界面部分的多块溅射靶及相关方法和物品有效专利	H·C·施塔克公司
8	CN102983219B	2012-12-03	2012-12-03	薄膜太阳能电池组件的制备方法有效专利	深圳先进技术研究院;香港中文大学
9	CN103132033A	2013-03-26	2013-03-26	一种制备钼靶的方法有效专利	金堆城钼业股份有限公司
10	CN102259182A	2011-07-22	2011-07-22	一种熔炼法制备高性能钼饼材的方法失效专利	中国科学院金属研究所

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