一种制备钼靶的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310098029.3
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2013-03-26
申请人：
金堆城钼业股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种制备钼靶的方法
申请号	CN201310098029.3	申请日期	2013-03-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-06-05	公开/公告号	CN103132033A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	金堆城钼业股份有限公司	申请人地址	陕西省西安市高新区锦业一路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	金堆城钼业股份有限公司	当前权利人	金堆城钼业股份有限公司
发明人	王林;朱琦;杨秦莉;王娜
代理机构	西安创知专利事务所	代理人	谭文琰

摘要

本发明公开了一种制备钼靶的方法，该方法为：一、将钼粉压制成钼坯料，置于高温炉内进行预烧结得到预烧结坯；二、将预烧结坯置于高温炉内进行烧结，得到高纯钼金属坯；三、将高纯钼金属坯送入马弗炉中加热，然后对加热后的高纯钼金属坯进行压力加工，得到钼板；四、将钼板加热，冷却后进行机械加工；五、将经机械加工后的钼板清洗干净，与金属背板绑定，得到钼靶。本发明采用在低压力下进行预烧结，能够降低杂质熔点，创造杂质挥发条件，有利于去除材料中的气体元素和低熔点杂质，尤其是降低了材料中的C、O、Si、Cr、Ca、K、Mg、Ti、Ni等杂质元素含量，显著提高了制成品的纯度，保证了钼溅射靶材的纯度和产品质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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