校准方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200480030304.7
IPC分类号：B25J9/10;B25J15/08;H01L21/68
申请日期：
2004-10-13
申请人：
株式会社安川电机

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	校准方法
申请号	CN200480030304.7	申请日期	2004-10-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-11-22	公开/公告号	CN1867430
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J9/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J9/00 程序控制机械手 B25J9/10 以机械手元件定位装置为特征的〔4〕	IPC分类号	B;2;5;J;9;/;1;0;;;B;2;5;J;1;5;/;0;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	株式会社安川电机	申请人地址	日本福冈县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社安川电机	当前权利人	株式会社安川电机
发明人	足立胜;川边满德
代理机构	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司	代理人	武玉琴;张友文

摘要

本发明提供一种求出传感器光轴相对于机器人手部的偏移并进行校准的方法，以及提供一种求出机器人手部相对于机器人手臂的偏移并进行校准的方法。其通过可旋转地安装在机器人手臂前端的机器人手部搬运半导体晶片的机器人，在前述机器人手部上设置光学传感器，通过前述机器人手部将示教半导体晶片的收纳或载置位置的示教夹具放置在规定位置，以前述机器人手臂伸缩量不同的2种以上的姿势，用前述光学传感器重复检测前述示教夹具，从而计算出示教夹具位置的推断值，通过求得作为前述示教位置与前述推断值的差值的、相对于前述传感器光轴的垂直方向的偏移ΔR和旋转方向的偏移Δθ，校准前述光学传感器的光轴。

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