一种复合磨料及制备方法和在化学机械抛光中的用途

发明专利无效专利

申请号：
CN201410594984.0
IPC分类号：C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304
申请日期：
2014-10-30
申请人：
常州大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种复合磨料及制备方法和在化学机械抛光中的用途
申请号	CN201410594984.0	申请日期	2014-10-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-02-18	公开/公告号	CN104357012A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09K3/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09K 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 C09K3/00 不包含在其他类目中的材料〔2〕 C09K3/14 防滑材料；研磨材料（含高分子物质的磨料或摩擦体或者成型磨料的制造入C08J 5/14）〔4〕	IPC分类号	C;0;9;K;3;/;1;4;;;C;0;9;G;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	常州大学	申请人地址	江苏省常州市武进区滆湖路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州大学	当前权利人	常州大学
发明人	陈杨;汪亚运;王永光;秦佳伟
代理机构	南京知识律师事务所	代理人	卢亚丽

摘要

本发明涉及一种无机磨料，特指一种复合磨料及制备方法和在化学机械抛光中的用途。所述复合磨料为同质异构的球形氧化硅复合微球，该磨料以单分散实体氧化硅微球为内核，表面包覆有序介孔氧化硅壳层；利用同质异构核壳结构，降低氧化硅磨粒的表面硬度和压缩弹性模量，有利于改善磨料与晶片表面之间真实接触区域内的接触状态，降低磨粒在晶片表面的压痕深度，进而减少晶圆表面的机械损伤；借助其大的比表面积，提高磨料对抛光液中活性化学组分的吸附/释放能力，以增强磨料与晶片表面局部真实接触区域内的化学反应活性，从而提高材料去除率；含有所述复合磨料的抛光液能够实现二氧化硅介质的高效无损伤抛光。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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