一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110191559.3
IPC分类号：G01N27/04;B81B7/00;B81C1/00
申请日期：
2011-07-08
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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著录项信息

专利名称	一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器及方法
申请号	CN201110191559.3	申请日期	2011-07-08
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-22	公开/公告号	CN102359981A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;4;;;B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	上海市长宁区长宁路865号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	当前权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人	李铁;许磊;王跃林
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	潘振甦

摘要

本发明涉及一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器及制作方法，传感器的结构包括：衬底框架，隔热腔体，加热膜区，过渡区，支撑悬梁，加热电阻丝，供电引线，供电电极，隔离层，叉指电极，探测引线，探测电极，和敏感膜。其结构特征为：位于隔热腔体上方的加热膜区通过过渡区和支撑悬梁与衬底框架相连；加热电阻丝以折线的形式排布在加热膜区上，并通过供电引线与衬底框架上的供电电极相连；隔离层覆盖在加热膜区和支撑悬梁之上，并严密包裹加热电阻丝和供电引线；叉指电极排布在隔离层上，并通过探测引线与探测电极相连；敏感膜位于加热膜区上的隔离层处，覆盖整个叉指电极并和叉指电极有良好的电联接。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN101329291A	2008-12-24	2007-06-20	一种气敏传感器有效专利	中国科学院微电子研究所
2	CN101556257A	2009-10-14	2009-05-14	直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法无效专利	西安交通大学
3	CN1975397A	2007-06-06	2006-12-21	三氧化钨薄膜气敏传感器的表面改性方法失效专利	天津大学

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN105806430A	2016-04-08	2016-04-08	一种基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法无效专利	东南大学

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