板式PECVD用特气管路套环状出气孔

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520776934.4
IPC分类号：C23C16/455;C23C16/513;C23C16/511;C23C16/517
申请日期：
2015-10-08
申请人：
无锡尚德太阳能电力有限公司

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专利名称	板式PECVD用特气管路套环状出气孔
申请号	CN201520776934.4	申请日期	2015-10-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/455 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/44 以镀覆方法为特征的（C23C 16/04优先）〔4〕 C23C16/455 向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法〔7〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;1;3;;;C;2;3;C;1;6;/;5;1;1;;;C;2;3;C;1;6;/;5;1;7查看分类表>
申请人	无锡尚德太阳能电力有限公司	申请人地址	江苏省无锡市国家高新技术开发区新华路9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡尚德太阳能电力有限公司	当前权利人	无锡尚德太阳能电力有限公司
发明人	鲁科;乔琦;陆红艳;黄海涛;陈如龙
代理机构	无锡市大为专利商标事务所（普通合伙）	代理人	曹祖良;屠志力

摘要

本实用新型提供一种板式PECVD用特气管路套环状出气孔，包括特气管路上设置的出气孔本体，其改进之处在于：在出气孔本体周围设一套环，套环位于出气孔本体的外侧。进一步地，套环与出气孔本体同圆心。进一步地，套环的高度为4～7mm，内径为3～6mm，套环的壁厚为1～1.2mm。更进一步地，套环的高度为5～6mm，内径为4～5mm。进一步地，出气孔本体的直径为1～1.2mm。本实用新型的优点在于：可有效防止PECVD的特气管路出气孔堵塞；使得特气管道各处的镀膜厚度均匀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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