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用于微加工镜的改进光反射器

发明专利无效专利

申请号：
CN00806921.2
IPC分类号：--
申请日期：
2000-03-08
申请人：
西加特技术有限责任公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于微加工镜的改进光反射器
申请号	CN00806921.2	申请日期	2000-03-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-05-15	公开/公告号	CN1349617
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	西加特技术有限责任公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西加特技术有限责任公司	当前权利人	西加特技术有限责任公司
发明人	J·D·德雷克;J·H·杰曼
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	沈昭坤

摘要

本发明揭示一种微加工反射器，它包括：平面基片(146)和固定在该平面基片上的反射层(147)。该反射层有应力，一种材料的附加层(148)固定在反射层上，该附加层的应力基本上与反射层应力相反，从而附加层的应力补偿了反射层的应力，增强了该微加工反射器的平面性。

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