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紧凑的紫外照射模块

发明专利有效专利

申请号：
CN200980123408.5
IPC分类号：H01J61/02;H01J61/35
申请日期：
2009-06-15
申请人：
赫罗伊斯诺布尔莱特股份有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	紧凑的紫外照射模块
申请号	CN200980123408.5	申请日期	2009-06-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-06-01	公开/公告号	CN102084454A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J61/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J61/00 气体或蒸气放电灯（有消耗电极的弧光灯入H05B；场致发光灯入H05B） H01J61/02 零部件	IPC分类号	H;0;1;J;6;1;/;0;2;;;H;0;1;J;6;1;/;3;5查看分类表>
申请人	赫罗伊斯诺布尔莱特股份有限公司	申请人地址	德国哈瑙变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	赫罗伊斯诺布尔莱特股份有限公司	当前权利人	赫罗伊斯诺布尔莱特股份有限公司
发明人	S·利诺;R·普雷奇;T·阿诺尔德
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	周心志;杨楷

摘要

本发明涉及一种用于照射至少一个基底的装置，该装置包括照射单元，用于以紫外光照射基底，其中该照射单元包括带集成的反射器的放电灯，本发明还涉及一种用于制造利用紫外光照射基底的照射模块的方法。

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