宽带偏振光谱仪及光学测量系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201110427603.6
IPC分类号：G01J3/447;G01J3/02
申请日期：
2011-12-19
申请人：
中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司

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专利名称	宽带偏振光谱仪及光学测量系统
申请号	CN201110427603.6	申请日期	2011-12-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-06-19	公开/公告号	CN103162831A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J3/447 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J3/00 光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色〔4〕 G01J3/28 光谱测试（应用滤色器的入G01J 3/51）〔4〕 G01J3/447 偏振光谱法〔4〕	IPC分类号	G;0;1;J;3;/;4;4;7;;;G;0;1;J;3;/;0;2查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所,北京智朗芯光科技有限公司	当前权利人	中国科学院微电子研究所,北京智朗芯光科技有限公司
发明人	李国光;吴文镜;刘涛;赵江艳;郭青杨;马铁中;夏洋
代理机构	北京华沛德权律师事务所	代理人	刘丽君

摘要

本发明提供的一种宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一平面反射镜、第一曲面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪，提高了探测光束的光通效率，并且在探测器前端实现了分光后的作为参考光束的非探测光束和所述探测光束的完整结合。此外，还能使探测光束无色差地聚焦在样品表面，并可同时保持探测光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。本发明还提供一种包含上述光谱仪的光学测量系统。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN101261116A	2008-09-10	2008-04-20	一种薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置失效专利	华中科技大学
2	CN101449135A	2009-06-03	2007-04-16	基于偏振的干涉测量检测器有效专利	比奥普蒂克斯有限责任公司
3	CN101050979A	2007-10-10	2007-05-21	全反射式高分辨率大视场傅立叶变换成像光谱仪的光路结构无效专利	北京理工大学
4	CN101226340A	2008-07-23	2007-12-07	散射仪、测量设备和聚焦分析方法有效专利	ASML荷兰有限公司

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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