单晶硅生产设备

发明专利无效专利

申请号：
CN91102923.0
IPC分类号：--
申请日期：
1991-04-27
申请人：
日本钢管株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	单晶硅生产设备
申请号	CN91102923.0	申请日期	1991-04-27
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	1991-11-13	公开/公告号	CN1056136
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	日本钢管株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本钢管株式会社	当前权利人	日本钢管株式会社
发明人	岛芳延;神尾宽;铃木真
代理机构	中国专利代理有限公司	代理人	肖掬昌;曹济洪

摘要

一种按照坩埚不旋转的切克劳斯基法高速提拉直径大、组成稳定的单晶硅的单晶硅生产设备。通过妥善维持单晶硅外周边与分隔件内侧熔融硅自由表面的热平衡，可以高速提拉大直径单晶硅。必须满足的条件如下：4＝18-24英寸，3/4＝0.75-0.84；2-1＝30-50毫米，α＝15-25度；及h＝10-30毫米，其中1为单晶硅直径，2为保温盖圆柱形侧面部分下端处的孔径，3为分隔件的直径，4为坩埚直径，h为熔融硅表面至2部分的距离。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN104342750A	2013-08-08	2013-08-08	石英坩埚及其制备方法无效专利	徐州协鑫太阳能材料有限公司
2	CN102409396A	2011-12-09	2011-12-09	用于直拉硅单晶生长的双层坩埚无效专利	曾泽斌

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