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石英坩埚及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310345023.1
  • IPC分类号:C30B15/10;C30B29/06
  • 申请日期:
    2013-08-08
  • 申请人:
    徐州协鑫太阳能材料有限公司
著录项信息
专利名称石英坩埚及其制备方法
申请号CN201310345023.1申请日期2013-08-08
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2015-02-11公开/公告号CN104342750A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C30B15/10IPC分类号C;3;0;B;1;5;/;1;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人徐州协鑫太阳能材料有限公司申请人地址
江苏省徐州市铜山经济开发区钱江路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人徐州协鑫太阳能材料有限公司当前权利人徐州协鑫太阳能材料有限公司
发明人陈龙;伍耀川;何钊煊;孙前颂;潘守明
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人唐清凯
摘要
本发明揭示了一种石英坩埚,包括坩埚主体,坩埚主体包括坩埚内壁、坩埚外壁以及坩埚底壁。坩埚内壁的底部具有通孔;在坩埚主体与硅熔液接触面上涂覆有保护涂层。上述石英坩埚,在坩埚内壁以及坩埚外壁之间形成持续注入固态或液态硅料的环形加液区。与传统技术相比,固态或液态硅料能够在环形加液区内进行温度混合以及流速缓冲,从而减少了硅熔液对晶体生长环境的温度扰动,提高了长晶质量。在坩埚主体上涂覆的保护涂层,能够减少石英由于“析晶”现象对坩埚主体的破坏,有效阻止了硅熔液与坩埚主体发生反应的几率,在提高石英坩埚的使用寿命的同时,也提高了单晶硅的纯度。此外,还揭示了石英坩埚的制备方法。

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