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遮光带版图绘制方法、光罩版图绘制方法及光罩版图

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110254749.9
  • IPC分类号:G06F30/392;G06F30/398;G06F111/20
  • 申请日期:
    2021-03-05
  • 申请人:
    深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
著录项信息
专利名称遮光带版图绘制方法、光罩版图绘制方法及光罩版图
申请号CN202110254749.9申请日期2021-03-05
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-11公开/公告号CN112949242A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G06F30/392IPC分类号G;0;6;F;3;0;/;3;9;2;;;G;0;6;F;3;0;/;3;9;8;;;G;0;6;F;1;1;1;/;2;0查看分类表>
申请人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司申请人地址
广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司当前权利人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
发明人王悦
代理机构深圳紫藤知识产权代理有限公司代理人远明
摘要
本申请实施例公开了一种遮光带版图绘制方法、光罩版图绘制方法及光罩版图。遮光带版图绘制方法包括:获取遮光带版图的绘制配置信息,绘制配置信息包括绘制原始版图标识、遮光带版图的绘制范围的尺寸信息;调用版图数据库,版图数据库包括至少一绘制原始版图和与绘制原始版图对应的绘制原始版图标识;根据绘制原始版图标识在版图数据库中确定绘制原始版图;根据绘制原始版图设定第一空心阵列组;根据第一空心阵列组、绘制范围的尺寸信息确定绘制范围;根据第一空心阵列组和绘制范围生成遮光带版图。本申请实施例可以自动化快速绘制遮光带版图,减小了现有遮光带版图绘制中的繁琐步骤。

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