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轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200810131215.1
  • IPC分类号:C23C16/54
  • 申请日期:
    2008-07-30
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器
申请号CN200810131215.1申请日期2008-07-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-02-04公开/公告号CN101358338
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/54IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人陆思青;巴拉吉·查卓瑟卡兰;保罗·爱德华·吉;尼汀·K·尹格勒;德米特里·鲁博弥尔斯克;原铮;埃利·Y·易
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人赵飞
摘要
本发明提供一种轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器。在一些实施例中,一种真空吸盘包括:主体,具有用于在其上支撑衬底的支撑表面;多个轴对称布置的沟槽,形成于所述支撑表面中,所述沟槽中的至少一些相交;以及穿过所述主体并在所述沟槽内形成的多个吸附孔,所述吸附孔用于在操作期间将所述沟槽流体耦合到真空源,其中,所述吸附孔布置在所述沟槽的非相交部分中。

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