加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

通过氢退火恢复钴电阻

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201780017732.3
  • IPC分类号:H01L21/768
  • 申请日期:
    2017-03-16
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称通过氢退火恢复钴电阻
申请号CN201780017732.3申请日期2017-03-16
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-11-23公开/公告号CN108886017A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/768IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;6;8查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人尼古劳斯·贝基亚里斯;梅裕尔·奈克;吴志远
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国;赵静
摘要
因在从钴互连件上去除表面氧化物和在钴互连件上沉积含氮膜期间发生的氮化作用而造成的钴互连件的电阻增大通过氢热退火或等离子体处理解决。穿过薄覆盖层去除氮化物,薄覆盖层可以是介电阻挡层或蚀刻终止层。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供