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一种酸性蚀刻液循环再生利用氧化剂

发明专利有效专利

申请号：
CN201911218469.1
IPC分类号：C23F1/46;C23F1/18
申请日期：
2019-12-03
申请人：
上海八菱环保科技有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种酸性蚀刻液循环再生利用氧化剂
申请号	CN201911218469.1	申请日期	2019-12-03
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-04	公开/公告号	CN112899687A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/46 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/46 蚀刻组合物的再生〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;4;6;;;C;2;3;F;1;/;1;8查看分类表>
申请人	上海八菱环保科技有限公司	申请人地址	上海市嘉定区外冈镇恒乐路85号1幢2层B区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海八菱环保科技有限公司	当前权利人	上海八菱环保科技有限公司
发明人	罗欢
代理机构	徐州拉沃智佳知识产权代理有限公司	代理人	陈永宁

摘要

本发明提供了一种酸性蚀刻液循环再生利用氧化剂，有以下质量比例的原料制备而成：工业级98％的氯酸钠：工业级氯化钠：工业级氯化铵：工业级氯化钾：水＝250：120：50：10：900，本发明通过添加少量氧化剂，使得再生液能够满足回用过程中的氧化还原反应，提高了再生液的回用率、提高了蚀刻的速率、降低了生产成本、实现了资源的保护和环保节能。

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