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具有渐变透明电极接触层的深紫外LED及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202211136765.9
  • IPC分类号:H01L33/42;H01L33/32;H01L33/06;H01L33/14;H01L33/00
  • 申请日期:
    2022-09-19
  • 申请人:
    苏州紫灿科技有限公司
著录项信息
专利名称具有渐变透明电极接触层的深紫外LED及其制备方法
申请号CN202211136765.9申请日期2022-09-19
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-11-22公开/公告号CN115377269A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/42IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;4;2;;;H;0;1;L;3;3;/;3;2;;;H;0;1;L;3;3;/;0;6;;;H;0;1;L;3;3;/;1;4;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人苏州紫灿科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴江区黎里镇城司路158号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州紫灿科技有限公司当前权利人苏州紫灿科技有限公司
发明人张骏;张毅;岳金顺;陈景文
代理机构武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙)代理人姜婷
摘要
本发明公开了一种具有渐变透明电极接触层的深紫外LED及其制备方法,该具有渐变透明电极接触层的深紫外LED包括依次层叠布置的蓝宝石衬底、AlN本征层、n型AlGaN电子注入层、电流扩展层、多量子阱有源层、电子阻挡层、p型AlGaN空穴注入层和透明电极接触层;透明电极接触层为Mg掺杂的AlGaN单层结构,沿生长方向,透明电极接触层的Mg掺杂浓度呈递增趋势,且Al组分百分数呈递减趋势。本发明通过引入渐变的透明电极接触层,用以替换现有的p型GaN接触层,一方面能够获得较好的欧姆接触,降低电压,改善空穴注入能力;另一方面,解决了现有p型GaN接触层吸光严重的问题,显著减少了p型半导体接触层对于出射光的吸收,大大提高了器件发光效率。

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