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压电设备、天线双工器和制造压电谐振器的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410085892.6
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2004-11-05
  • 申请人:
    松下电器产业株式会社
著录项信息
专利名称压电设备、天线双工器和制造压电谐振器的方法
申请号CN200410085892.6申请日期2004-11-05
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2005-05-11公开/公告号CN1614886
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人松下电器产业株式会社申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人松下电器产业株式会社当前权利人松下电器产业株式会社
发明人中村弘幸;大西慶治;中塚宏;山口博司;山川岳彥
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人火惠颖
摘要
一种压电设备(100)包括第一和第二压电谐振器(110、120)。在第一压电谐振器(110)的结构中,在基片(101)上形成空腔(111)、下电极(112)、压电层(113)、和上电极(114)。在第二压电谐振器(120)的结构中,在基片(101)上形成空腔(121)、下电极(122)、压电层(123)、和上电极(124)。以上结构的压电设备(100)的一个特征是压电层(113、123)具有相同薄膜厚度而第一压电谐振器(110)的空腔(111)的深度(t1)与第二压电谐振器(120)的空腔(121)的深度(t2)不相同。

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