一种长晶炉的炉身冷却结构

发明专利有效专利

申请号：
CN201810604709.0
IPC分类号：C30B35/00;C30B29/20
申请日期：
2018-06-13
申请人：
深圳市盛世智能装备有限公司

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专利名称	一种长晶炉的炉身冷却结构
申请号	CN201810604709.0	申请日期	2018-06-13
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2018-09-11	公开/公告号	CN108517566A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;2;0查看分类表>
申请人	深圳市盛世智能装备有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房7栋1楼东面及2楼东面变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市盛世智能装备有限公司	当前权利人	深圳市盛世智能装备有限公司
发明人	刘东成;张晋;曹松青
代理机构	广州嘉权专利商标事务所有限公司	代理人	唐致明

摘要

一种长晶炉的炉身冷却结构，包括：圆筒状的内腔；圆筒状的外腔，所述内腔套设在所述外腔内，并且，所述内腔的外壁与所述外腔的内壁之间形成第一冷却腔；第一冷却隔环，所述第一冷却隔环呈环绕所述内腔的外壁的圆柱螺旋状，一面固定在所述内腔的外壁上，另一面靠近或抵接至所述外腔的内壁；所述第一冷却隔环在所述第一冷却腔内将冷却水由上至下地引流；第一进水口，至少在所述外腔的上部设置有一个第一进水口；第一出水口，至少在所述外腔的下部设置有一个第一出水口。本发明可以实现在对蓝宝石长晶炉炉身进行冷却的同时，降低能耗，降低成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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