钛酸锶钡介质靶的制备方法

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专利名称	钛酸锶钡介质靶的制备方法
申请号	CN200410065774.9	申请日期	2004-11-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-06-29	公开/公告号	CN1631842
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第五十五研究所	申请人地址	江苏省南京市中山东路524号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第五十五研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第五十五研究所
发明人	林立强;朱健;吕振中;戴精武
代理机构	南京天华专利代理有限责任公司	代理人	徐冬涛;叶立剑

摘要

本发明在制备钛酸锶钡靶材的原材料中添加少量的发泡剂或微量的助泡剂，在制靶烧结过程中使这类添加剂均匀地产生气泡而基本不留残渣，在最终的靶材制成品中，均匀地产生大量的微孔，具备这种微孔结构的靶材可极其有效地吸收、消除由于严酷的磁控溅射加热条件所产生的内应力，显著地提高它的热稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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