晶棒生长用冷却装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201820666395.2
IPC分类号：C30B15/00
申请日期：
2018-05-04
申请人：
蒋国庆

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著录项信息

专利名称	晶棒生长用冷却装置
申请号	CN201820666395.2	申请日期	2018-05-04
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	蒋国庆	申请人地址	江苏省常州市金坛市金城镇春草塘1幢502室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	蒋国庆	当前权利人	蒋国庆
发明人	蒋国庆
代理机构	常州兴瑞专利代理事务所（普通合伙）	代理人	肖兴坤

摘要

本实用新型公开了一种晶棒生长用冷却装置，它包括用于用于吸收晶棒热量的气冷套、冷媒循环组管和冷凝器，所述晶棒可从气冷套中穿过，所述气冷套设置有冷媒进口和冷媒出口；所述冷媒循环组管内充装有冷媒，所述冷媒循环组管的一端与冷媒进口相连通，所述冷媒循环组管的另一端与冷媒出口相连通，以便冷媒在气冷套和冷媒循环组管之间循环流通；所述冷凝器内设置有冷凝腔，所述冷凝腔内填充有冷却介质，所述冷媒循环组管的至少一部分处于冷凝腔内，以便冷凝腔内的冷却介质与冷媒循环组管内的冷媒进行热交换。本实用新型采用气冷套对晶棒进行冷却，冷却效率高，冷却温度可控，可有效提高拉速，且气冷套内的冷媒即使出现泄露也不会发生事故。

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