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光敏性堆叠结构体

发明专利有效专利

申请号：
CN201680082469.1
IPC分类号：--
申请日期：
2016-12-20
申请人：
富士胶片电子材料美国有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光敏性堆叠结构体
申请号	CN201680082469.1	申请日期	2016-12-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-10-23	公开/公告号	CN108701582A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	富士胶片电子材料美国有限公司	申请人地址	美国罗得岛州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶片电子材料美国有限公司	当前权利人	富士胶片电子材料美国有限公司
发明人	S·马利克;R·萨卡穆里;O·N·迪莫夫;B·B·德;W·A·赖纳特;A·A·纳依尼
代理机构	北京博思佳知识产权代理有限公司	代理人	林祥

摘要

本公开涉及包含第一层及第二层的光敏性堆叠结构体，其中该第一层为光敏性介电层且该第二层为光敏性层。该第一层在显影剂中的溶解率小于该第二层在该显影剂中的溶解率。

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