芯片检测方法及芯片检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110318148.X
IPC分类号：G01R31/28
申请日期：
2021-03-25
申请人：
长鑫存储技术有限公司

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著录项信息

专利名称	芯片检测方法及芯片检测装置
申请号	CN202110318148.X	申请日期	2021-03-25
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-07-06	公开/公告号	CN113075533A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	长鑫存储技术有限公司	申请人地址	安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长鑫存储技术有限公司	当前权利人	长鑫存储技术有限公司
发明人	周舰波
代理机构	上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	孙佳胤;陈丽丽

摘要

本发明涉及集成电路失效分析技术领域，尤其涉及一种芯片检测方法及芯片检测装置。所述芯片检测方法包括如下步骤：提供待测试的芯片，所述芯片中包括动力泵区域，所述动力泵区域中包括多个动力泵结构；探测所述芯片处于预设工作模式时所述动力泵区域发出的微光信号；判断所述微光信号与所述预设工作模式下对应的动力泵工作模式是否匹配，若否，则确认所述动力泵区域存在缺陷，所述动力泵工作模式包括所述动力泵区域中所述动力泵结构的工作状态。本发明不仅检测过程操作简单，而且通过微光信号可以快速、直观的反映出动力泵区域的动力泵结构工作状态，在节约检测成本的同时，能够极大的提高检测准确度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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