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平板夹持装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200410034748.X
  • IPC分类号:H01L21/68;B25B11/00
  • 申请日期:
    2004-05-09
  • 申请人:
    郑光镐
著录项信息
专利名称平板夹持装置
申请号CN200410034748.X申请日期2004-05-09
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2005-11-09公开/公告号CN1694236
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;B;2;5;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人郑光镐申请人地址
韩国京畿道坡州市炭县面闲山路69 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社当前权利人株式会社
发明人郑光镐;李然珍;金成文
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李辉
摘要
本发明涉及一种夹持装置,尤其是一种可以在制造LCD、PDP或有机EL等平板显示器时固定玻璃基板之类的平板以及在各工序之间移动时有效地支持基板的夹持装置。本发明的平板夹持装置可以夹持基板(12),基板(12)位于可控升降的底座(10)上面,夹持板(20)在底座上方进行水平运动,在夹持板(20)的底面形成多个孔(22),再铺设可以密封这些孔的多个弹性膜(24)或弹性板,在弹性膜(24)或弹性板的底面固定粘接膜(26),弹性膜调节装置使上述弹性膜往下膨胀,弹性板调节装置则可以使弹性板上下运动并弯曲突出。本发明的结构简单,可以在真空中使用,减少耗电量,还可以发挥轻易夹持较大面积平板的效果。

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