一种制备图案化聚合物的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910598079.5
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2019-07-03
申请人：
深圳碳森科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种制备图案化聚合物的方法
申请号	CN201910598079.5	申请日期	2019-07-03
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-01-05	公开/公告号	CN112180679A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳碳森科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区西乡街道龙腾社区深圳西乡大道与广深公路交汇处西侧满京华艺峦大厦2座301E单位变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳碳森科技有限公司	当前权利人	深圳碳森科技有限公司
发明人	李远航;张行;万明明;邓杨臻;李源
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种制备图案化聚合物的方法，涉及微流控芯片的技术领域，本发明包括以下步骤S1.喷涂光刻胶、S2.图案转移、S3.显影液显影、S4.涂覆聚合物、S5.溶解聚合物、S6.光刻胶脱模。本发明中，聚合物与图案化光刻胶之间的分离由传统的剥离转换成溶解分离，聚合物与图案化光刻胶的分离过程更加平缓，图案化聚合物结构不易损坏，生产质量更高，且操作难度、对设备精度、操作环境要求更低，生产质量更加稳定、生产更加高效。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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