一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920949031.X
IPC分类号：B24B1/04;B24B37/11;B24B37/34;B24B47/22;B24B57/02
申请日期：
2019-06-24
申请人：
南昌大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置
申请号	CN201920949031.X	申请日期	2019-06-24
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B1/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B1/00 磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备（以使用专用机床或装置为特征的工艺，见与这些机床或装置相关的位置）〔4〕 B24B1/04 使磨削或抛光工具，研磨或抛光介质或工件受振动，例如超声波磨削（使用摆动或振动容器入B24B 31/06；工件表面超精加工，如用高频率的往复运动磨块入B24B 35/00）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;1;/;0;4;;;B;2;4;B;3;7;/;1;1;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;4;B;4;7;/;2;2;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2查看分类表>
申请人	南昌大学	申请人地址	江西省南昌市东湖区红谷滩新区学府大道999号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南昌大学	当前权利人	南昌大学
发明人	许文虎;程远瑶;钟敏;袁任江;蒋建中
代理机构	南昌青远专利代理事务所（普通合伙）	代理人	刘爱芳

摘要

本实用新型属于宝石抛光技术领域，特别涉及一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置，包括抛光盘、抛光头，蓝宝石衬底材料固定于抛光头的底部，抛光盘上表面为抛光垫，抛光盘、抛光头分别经由第一直线电机、第二直线电机带动转动；还设有用于产生超声脉冲电流的超声发生控制箱，所述超声发生控制箱与设置于抛光头上的压电陶瓷电连接，所述压电陶瓷产生脉冲振动；还包括电化学反应回路。本实用新型在电化学腐蚀的作用下蓝宝石衬底材料表面的化学反应加快，软物质生成加快。本实用新型在超声、电、化学、机械多能场复合作用下，蓝宝石衬底材料的抛光效率和拋光质量得到提高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供