一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合设备

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专利名称	一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合设备
申请号	CN201310100529.6	申请日期	2013-03-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-07-17	公开/公告号	CN103203698A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25B11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25B 不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备 B25B11/00 不包含在B25B 1/00至B25B 9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置（用于焊接、钎焊或通过局部加热而进行切割的工件的夹持或定位入B23K 37/04；专门用于机床的入B23Q 3/00）	IPC分类号	B;2;5;B;1;1;/;0;0;;;B;8;1;C;3;/;0;0查看分类表>
申请人	山东理工大学	申请人地址	山东省淄博市高新技术产业开发区高创园D座1012 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东理工大学	当前权利人	山东理工大学
发明人	刘曰涛;肖春雷;王伟;杨明坤;魏修亭
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合的玻璃片夹持器，该玻璃片夹持器由高压气体接头，第一夹持片，第一预紧弹簧，第一预紧片，第一预紧螺钉，第二夹持片，第二预紧弹簧，第二预紧片，第二预紧螺钉组成，本发明的玻璃片夹持器结构简单，在保证了玻璃片的夹持强度的同时，可以多方位地调整夹持力。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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