供应二氧化碳的方法和系统

1.一种供应高压二氧化碳到具有可变二氧化碳流量要求的应用 工具中的方法，包括：
提供高压二氧化碳进料流到缓冲容积；
保持所述缓冲容积内的压力在超过所述应用工具所需压力的最低 压力和最高压力之间，以便于以所述最低压力包含于缓冲容积内的二 氧化碳平均密度不同于以所述最高压力包含于所述缓冲容积内的二氧 化碳平均密度；
调节所述缓冲容积内的平均温度，改变以最低压力包含于所述缓 冲容积内的二氧化碳平均密度与以最高压力包含于所述缓冲容积内的 二氧化碳平均密度之间的差，以便于满足与应用工具相关的流量要 求；和
从所述缓冲容积以应用工具需要的可变流速输送高压二氧化碳供 应流。
2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：基于对缓冲容积 的温度调节，减少输送预定量二氧化碳到应用工具所必需的缓冲客 积。
3.根据权利要求1所述的方法，其中应用工具的流量要求是不 连续的。
4.根据权利要求1所述的方法，其中应用工具是半导体应用工 具。
5.根据权利要求1所述的方法，其中输送到应用工具所必需的 二氧化碳是预定的。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述缓冲容积是至少一个 压力容器。
7.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：通过加热或冷却 装置加热或冷却包含于所述缓冲容积内的二氧化碳。
8.一种供应高压二氧化碳到具有可变二氧化碳流量要求的应用 中的系统，包括：
接收高压二氧化碳进料流的缓冲容积，其中所述缓冲容积内的压 力维持在超过所述应用工具所需压力的最低压力和最高压力之间，以 便于以所述最低压力存在的所述二氧化碳密度不同于以所述最高压力 存在的所述二氧化碳密度，并调节所述缓冲容积的温度；
二氧化碳纯化单元，其布置在所述缓冲容积的上游，用于输送高 压二氧化碳进料流；和
应用工具，其布置在所述缓冲容积的下游，接收以由应用工具所 需的可变流速来自所述缓冲容积的二氧化碳。
9.根据权利要求8所述的系统，进一步包括：布置在所述二氧 化碳纯化单元下游的高压二氧化碳进料流加热或冷却装置。
10.根据权利要求8所述的系统，进一步包括：布置在纯化单元 下游的二氧化碳加压装置，用于提供由储存舱供应的二氧化碳。

暂无