一种毛刷自清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022577197.9
IPC分类号：B08B3/04;B08B3/08
申请日期：
2020-11-10
申请人：
上海允哲机电科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种毛刷自清洗装置
申请号	CN202022577197.9	申请日期	2020-11-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;4;;;B;0;8;B;3;/;0;8查看分类表>
申请人	上海允哲机电科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区鹿吉路353号1幢101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海允哲机电科技有限公司	当前权利人	上海允哲机电科技有限公司
发明人	王孝军;范亚飞
代理机构	上海领洋专利代理事务所（普通合伙）	代理人	罗晓鹏

摘要

本申请公开了一种毛刷自清洗装置。该自清洗装置包括升降组件、旋转组件、摆臂机构、毛刷自转组件和储液机构。升降组件为旋转组件提供升降的动力。旋转组件为摆臂机构提供旋转的动力。摆臂机构的一端连接第二连接轴的上端，其另一端连接毛刷。毛刷自旋转机构为毛刷自清洗时提供旋转的动力。储液机构用于储存清洗液。在晶圆清洗的过程中，通过升降组件上升旋转组件，通过摆臂机构抬升毛刷，通过旋转组件的旋转使毛刷正对储液机构，最后再通过升降组件将毛刷下降至清洗液中，最后毛刷自旋转机构使毛刷旋转来完成毛刷的自清洗。在晶圆清洗的过程中适时的对毛刷进行清洗，能够有效确保晶圆的良好品质，提高企业的工作效率，节约人力和时间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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