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用于微钻的扫描电镜检测的固定装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200920130029.6
  • IPC分类号:G01N1/36;G01N23/22
  • 申请日期:
    2009-02-17
  • 申请人:
    深圳市金洲精工科技股份有限公司
著录项信息
专利名称用于微钻的扫描电镜检测的固定装置
申请号CN200920130029.6申请日期2009-02-17
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N1/36IPC分类号G;0;1;N;1;/;3;6;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2查看分类表>
申请人深圳市金洲精工科技股份有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区高新技术产业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市金洲精工科技股份有限公司当前权利人深圳市金洲精工科技股份有限公司
发明人杨凡;付连宇;王成勇
代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司代理人邢涛
摘要
本实用新型公开了一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其包括承载体;所述的承载体的底面水平,其表面设有垂直于底面的、向上方贯通的凹槽;所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内的方向提供紧固力的固定件。由于要对微钻的钻尖部分进行检测,就必须保持钻头垂直于样品台,如有倾斜则不利于观察钻尖部分刃面完整的磨损形貌特征,而由于扫描电子显微镜的样品仓的空间是很小的,而且样品仓的载重也是有限的,现有技术中尚没有适合在扫描电镜检测过程中使用的供夹持微钻的固定装置。

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