一类基于微机电系统技术的可调光学器件

发明专利无效专利

申请号：
CN200310117764.0
IPC分类号：G02B6/35;H01L21/00;H04B10/12
申请日期：
2003-12-30
申请人：
侯继东

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专利名称	一类基于微机电系统技术的可调光学器件
申请号	CN200310117764.0	申请日期	2003-12-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-12-22	公开/公告号	CN1556425
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/35 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/22 （转入G02B 6/036） G02B6/24 光波导的耦合（电波导的耦合入H01P 1/00）〔4，5〕 G02B6/26 光耦合装置（G02B 6/36，G02B 6/42优先）〔4〕 G02B6/35 有切换装置的（一般的光学切换入G02B 26/08；通过改变介质的光学特性的入G02F 1/00）〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;3;5;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;4;B;1;0;/;1;2查看分类表>
申请人	侯继东	申请人地址	河北省邯郸市第一医院家属院西胡同4楼2单元6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	侯继东	当前权利人	侯继东
发明人	侯继东
代理机构	邯郸市久天专利事务所	代理人	薛建铎

摘要

本发明涉及光通信技术领域，特别是涉及可调衰减器、光学开关以及可调滤波器。在本发明中，光学开关、可调衰减器和可调滤波器中的核心元件都采用微机电系统技术中的表面微机械结构，由薄膜和薄膜之间的腔组成。光学上都为多腔法不里-珀罗干涉仪形式。每个膜都是由相互交替的高折射率介质层和低折射率介质层组成的多层介质膜。每个介质膜的介质层数有一定的相互关系，以保证器件有很好的光学特性。由於采用微机电系统技术，这些器件可以大批量生产，并且装配简单。并且由于采用静电驱动，这些器件的功耗非常低。

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