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芯片封装结构和封装方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811643404.7
  • IPC分类号:H01L23/31;H01L21/60;H01L23/488;H01L21/56
  • 申请日期:
    2018-12-29
  • 申请人:
    华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
著录项信息
专利名称芯片封装结构和封装方法
申请号CN201811643404.7申请日期2018-12-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-06-07公开/公告号CN109860125A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/31IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;3;1;;;H;0;1;L;2;1;/;6;0;;;H;0;1;L;2;3;/;4;8;8;;;H;0;1;L;2;1;/;5;6查看分类表>
申请人华进半导体封装先导技术研发中心有限公司申请人地址
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号传感网国际创新园D1栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华进半导体封装先导技术研发中心有限公司当前权利人华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
发明人孙鹏;任玉龙
代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司代理人马永芬
摘要
本发明公开了一种芯片封装结构和封装方法,其中,封装结构,包括:芯片,正面具有第一焊盘区和第一氧化层区;半导体衬底,具有第一表面和与第一表面相对的第二表面,第一表面具有与第一焊盘区对应贴合的第二焊盘区和与第一氧化层区对应贴合的第二氧化层区,第二表面具多个盲孔;引出层,设置在半导体衬底的第二表面上,通过盲孔与第二焊盘区电连接;封装层,设置在半导体衬底的第一表面,包封芯片和第一表面。在半导体衬底内形成凸块结构,实现引出层与焊盘区电连接,即凸块结构之间的填充物质相当于半导体衬底,可以避免现有技术中在凸块结构之间采用有机填料填充所带来的热膨胀系数差异的问题,提升了芯片封装的长期可靠性。

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