激光划片机

发明专利无效专利

申请号：
CN201410410192.3
IPC分类号：B23K26/38;B23K26/08;B23K26/70
申请日期：
2014-08-18
申请人：
深圳市韵腾激光科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	激光划片机
申请号	CN201410410192.3	申请日期	2014-08-18
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-02-24	公开/公告号	CN105345268A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/38 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕 B23K26/38 利用镗孔或切削〔7，2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;8;;;B;2;3;K;2;6;/;0;8;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0查看分类表>
申请人	深圳市韵腾激光科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区金港科技园B幢第二层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市韵腾激光科技有限公司	当前权利人	深圳市韵腾激光科技有限公司
发明人	邹武兵;张德安;段家露;曾波;余猛
代理机构	北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王丹凤

摘要

本发明公开了一种激光划片机，包括划片机本体、控制组件、装设于所述划片机本体上的切割定位组件、装设于所述划片机本体上并与所述切割定位组件相互配合的激光切割机构，所述激光切割机构包括装设于所述划片机本体上的激光发生器、装设于所述激光发生器上用于将激光发生器发出的激光进行传送的光路结构、装设于所述光路结构上用于对所述晶圆进行切割的切割结构，所述光路结构包括至少一个用于将激光进行扩束的扩束镜、若干对激光进行反射传递的反射镜，该激光划片机工作效率高、能精确地调整待切割晶圆的各个方向的位置、精度高、对晶圆切割的位置进行准确定位，切割出来的晶圆芯片均匀、美观，能切割多种材料，适应性强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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