一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811631366.3
IPC分类号：G01H9/00
申请日期：
2018-12-29
申请人：
中国计量科学研究院;北京化工大学

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著录项信息

专利名称	一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法
申请号	CN201811631366.3	申请日期	2018-12-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-12	公开/公告号	CN109612569A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01H9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01H 机械振动或超声波、声波或次声波的测量〔4〕 G01H9/00 应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波	IPC分类号	G01H9/00查看分类表>
申请人	中国计量科学研究院;北京化工大学	申请人地址	北京市朝阳区北三环东路*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国计量科学研究院,北京化工大学	当前权利人	中国计量科学研究院,北京化工大学
发明人	蔡晨光;杨明;刘志华
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司	代理人	沈波

摘要

本发明公开了一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法，采集固定于长冲程振动台导轨不同位置工作台面的圆形标志序列图像；然后利用基于Zernike矩的亚像素边缘检测方法提取序列图像的亚像素圆形特征边缘，并基于最小二乘法拟合圆求取相应的圆心坐标；以同一位置序列图像的拟合圆心坐标均值作为圆形标志的位置，基于视觉测量原理测量由导轨弯曲引起的振动台工作台面的位置变化，实现导轨弯曲的测量；最后利用计算的导轨弯曲修正基于激光干涉法的低频振动校准结果，以提高校准精度。本方法解决了现有激光干涉法无法满足高精度低频振动校准需求的不足。