液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器

发明专利无效专利

申请号：
CN03152448.6
IPC分类号：--
申请日期：
2003-07-31
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器
申请号	CN03152448.6	申请日期	2003-07-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-02-18	公开/公告号	CN1475346
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	高野丰;中村真一;臼田秀范;山田善昭
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	李香兰

摘要

本发明提供一种液滴喷出装置。其包括：将喷嘴面设置成与工件(W)平行对峙的功能液滴喷出头(10)；测定所述工件(W)的表面与所述喷嘴面之间的工件间隙的间隙测定装置(15、16)；根据所述间隙测定装置(15、16)的测定结果，使所述功能液滴喷出头(10)及所述工件(W)在上下方向上进行相对的移动，由此来调整工件间隙的间隙调整装置(32)。由此，可对工件(W)与功能液滴喷出头(10)之间的工件间隙自动地进行微调。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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