玻璃基板的缺陷检测方法

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玻璃基板的缺陷检测方法\n技术领域\n[0001] 本发明是有关于一种玻璃基板的缺陷检测方法，特别是有关于一种增进维修设备产能的玻璃基板的缺陷检测方法。\n背景技术\n[0002] 近 年 来，薄 膜 晶 体 管 液 晶 显 示 器 (Thin-Film Transistor \nLiquid-CrystalDisplay，TFT-LCD)产业应用层面从小尺寸的手机、个人数位助理到中尺寸的笔记型电脑、个人电脑，在到目前大尺寸的液晶电视，面板厂商不断的提升制作过程的技术，玻璃基板尺寸也有越来越大的趋势，大尺寸的玻璃基板除了可切割更大尺寸的产品应用外，亦可提高产能。\n[0003] 在TFT-LCD制作工艺上对于缺陷的检测，主要是应用自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)的技术来取代人工检测缺陷，以降低以人工方式长时间检测可能造成的误检或漏检的风险，亦可提升检测效率及低检测成本。至于检测后的缺陷分类，以及面板等级判定主要还是以人工方式判断，判断后才能决定面板下一步是要做修补、重制、报废或是往下一个制程。\n[0004] 薄膜晶体管(Thin-Film Transistor，TFT)的制作工艺主要为五道电路层制作，每道电路都需要经过薄膜、黄光、蚀刻等工艺，在每道电路完成后都需要检测及量测是否有缺陷会影响电路，若判断会影响电路之缺陷，就必须采取补救措施，例如修补(Repair)或电路重制(Rework)，若缺陷太严重，可能整片玻璃报废(Scrap)，AOI机台主要的工作就是自动逐一检测(review)全部缺陷，以确定那些缺陷实际上需要修补或重制。\n[0005] 修补及重制都需要时间及材料成本，以人工方式判断容易因个人的偏好或疲劳导致误判或漏判，或以自动光学检测方式逐一检视判断全部缺陷则仍有耗时及效率无法进一步提升的限制。故，有必要提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，以解决现有技术所存在的问题。\n发明内容\n[0006] 有鉴于此，本发明提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，以解决现有技术所存在的人工方式误判或漏判缺陷问题。\n[0007] 本发明的主要目的在于提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，其通过先将缺陷位置区分成落在会影响产品良率的区域(即具有电路的区域)及不影响产品良率的区域(即具有像素电极的区域)，以减少后续检测(review)缺陷决定缺陷是否需要修补的作业次数及所需时间。\n[0008] 本发明的次要目的在于提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，其可以提升自动光学检测的效率及准确度，并减少人为的误判或漏判。\n[0009] 为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，其中所述缺陷检测方法包含步骤︰撷取一玻璃基板的一检测影像图，所述检测影像图显示所述玻璃基板上的多个缺陷；将所述检测影像图区分成一第一区域及一第二区域；仅检测判断位于所述检测影像图的第一区域中的缺陷是否分别需要进行修补；以及仅针对位于所述检测影像图的第一区域中且判断需要进行修补的缺陷进行修补动作。\n[0010] 在本发明的一实施例中，所述玻璃基板是一液晶显示器的一薄膜晶体管阵列基板。\n[0011] 在本发明的一实施例中，所述第一区域是所述玻璃基板中的电路区域，所述电路区域包含晶体管电路。\n[0012] 在本发明的一实施例中，所述电路区域另包含扫描线、数据线或储存电容。\n[0013] 在本发明的一实施例中，所述第二区域是所述玻璃基板中的像素电极区域。\n[0014] 在本发明的一实施例中，在检测判断的步骤中，根据至少一种缺陷资讯检测判断所述第一区域中的各缺陷是否分别需要进行修补，所述缺陷资讯包含：一位置座标资讯以及一缺陷大小资讯。\n[0015] 在本发明的一实施例中，在根据所述位置座标资讯进行检测时，若所述缺陷完全位在所述第一区域中或至少一部份位在所述第一区域中，则判断所述缺陷需要进行修补。\n[0016] 在本发明的一实施例中，在根据所述位置座标资讯进行检测时，若所述缺陷在水平及垂直方向的长度值超过一预定的水平及垂直方向的最大长度值，则判断所述缺陷需要进行修补。\n[0017] 在本发明的一实施例中，在所述缺陷根据所述缺陷资讯进行检测判断之后，将所述缺陷资讯储存在一缺陷资料库，并加以分析判断得到一检测等级，以供判断所述第一区域中的各缺陷是否分别需要进行修补，其中所述检测等级包含：报废、修补以及良好。\n[0018] 再者，本发明另一实施例提供另一种玻璃基板的缺陷检测方法，其中所述缺陷检测方法包含步骤︰撷取一玻璃基板的一检测影像图，所述检测影像图显示所述玻璃基板上的多个缺陷，所述玻璃基板是一液晶显示器的一薄膜晶体管阵列基板；将所述检测影像图区分成一第一区域及一第二区域，所述第一区域是所述玻璃基板中包含晶体管电路的电路区域，及所述第二区域是所述玻璃基板中的像素电极区域；仅检测判断位于所述检测影像图的第一区域中的缺陷是否分别需要进行修补；以及仅针对位于所述检测影像图的第一区域中且判断需要进行修补的缺陷进行修补动作。\n[0019] 与现有技术相比较，本发明的玻璃基板的缺陷检测方法，这样不但可自动检测出这些缺陷，还可以通过自动判断并分类这些缺陷以简化缺陷判断的过程，亦即可以先将缺陷位置区分成落在会影响产品良率的区域(即具有电路的区域)及不影响产品良率的区域(即具有像素电极的区域)，以减少后续检测(review)缺陷决定缺陷是否需要修补的作业次数及所需时间，因此确实可提升自动光学检测的效率及准确度，并减少人为的误判。\n[0020] 为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：\n附图说明\n[0021] 图1是一现有的玻璃基板的缺陷的示意图。\n[0022] 图2是本发明一实施例玻璃基板的缺陷检测方法的流程图。\n[0023] 图3是本发明一实施例玻璃基板的缺陷的示意图。\n[0024] 图4是本发明一实施例玻璃基板的缺陷的局部放大示意图。\n具体实施方式\n[0025] 以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。再者，本发明所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧面、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。\n[0026] 请参照图1所示，一现有的玻璃基板1，其包含数个基板单元10，规则的间隔排列在所述玻璃基板1上，经过数道电路层制作工艺后，在所述数个基板单元10上会显示多个缺陷101，通过本发明的自动光学检测(AutomatedOptical Inspection，AOI)的技术可初步检测出所述多个缺陷101并先排除不需复检(review)的部份缺陷101，以减少后续复检确认缺陷101是否确实需要修补的作业负担，反观，现有技术是利用人工来检测并做出判断是否修补或重制所述多个缺陷101，或以现有自动光学检测方式逐一检视判断全部缺陷则仍有耗时及效率无法进一步提升的限制，因此若能以本发明的自动检测方法取代现有人工检测或自动光学检测，将可以提升检测的效率及准确度，以减少人为的误判或漏判，并进一步提升自动光学检测效率，以下将详述本发明玻璃基板的缺陷检测方法。\n[0027] 请参照图2及图3所示，本发明一实施例提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，其中所述缺陷检测方法，首先包含步骤(S01)︰撷取一玻璃基板的一检测影像图1，在所述检测影像图1中的所述玻璃基板包含数个基板单元10，所述检测影像图1显示所述玻璃基板上的多个缺陷101，所述玻璃基板是一液晶显示器的一薄膜晶体管阵列基板(TFT array substrate)。所述撷取影像是利用一光学摄像镜头以相对较低的倍数(如1~20倍)搭配计算机软件自动进行影像分析，以初步判断可能属于缺陷101的位置及数量。\n[0028] 请一并参考图4所示，接着，本发明一实施例提供一种玻璃基板的缺陷检测方法包含步骤(S02)︰将所述检测影像图1区分成一第一区域11及一第二区域12，其中所述第一区域11是指若存在所述缺陷101将会影响产品良率的区域，而所述第二区域12是指若存在所述缺陷101仍不影响产品良率的区域，例如所述第一区域11是所述玻璃基板中的电路区域，所述电路区域包含晶体管电路，且所述电路区域可另包含扫描线、数据线及/或储存电容。所述第二区域12例如是所述玻璃基板中的像素电极区域。上述区分第一区域11及第二区域12的动作是由计算机软件自动作业，其用意在于，因为包含电路的区域较易因为缺陷101的存在而产生短路或断路，会影响对应像素的失效与否，所以设为重要区域，即所述第一区域11；而像素电极区域则不会因为缺陷101的存在而影响整个像素的失效。\n[0029] 然后，本发明一实施例提供一种玻璃基板的缺陷检测方法包含步骤(S03)︰仅检测判断位于所述检测影像图1的第一区域11中的缺陷101b，是否分别需要进行修补，而位在所述第二区域12的缺陷101a则可以省略细部的检测判断；在检测判断的步骤(S03)中，所述的检测是指复检(review)，即利用相对较高的倍数(如25~1000倍)进行影像细部检测，以进一步根据至少一种缺陷资讯通过计算机软件自动检测(或人工目视检测)，来判断所述第一区域11中的各缺陷101b是否分别需要进行修补，所述缺陷资讯例如包含：一位置座标资讯以及一缺陷大小资讯。所述位置座标资讯可以X、Y座标(X轴方向大小，Y座标方向大小)来做纪录，所述缺陷大小资讯可以(X轴方向大小，Y座标方向大小)的最大值来记录。\n[0030] 最后，本发明一实施例提供一种玻璃基板的缺陷检测方法包含步骤(S04)︰仅针对位于所述检测影像图1的第一区域11中且判断需要进行修补的缺陷101b进行修补动作。在根据所述位置座标资讯进行检测时，若所述缺陷101b完全位在所述第一区域11中或至少一部份位在所述第一区域11中，则判断所述缺陷101b需要进行修补，简单的说，只要所述缺陷101b有落在所述第一区域11的范围内，即使一部分位在所述第一区域11及一部分位在所述第二区域12，也是判断为所述缺陷101b需要进行修补。所述修补动作是属于现有技术，可选择使用激光或焊接等重制工艺，于此不再另予详细说明。\n[0031] 此外，在根据所述位置座标资讯进行检测时，若所述缺陷101在水平及垂直方向的长度值超过一预定的水平及垂直方向的最大长度值，即影响范围(尺寸)很大时，则判断所述缺陷101需要进行修补。在所述缺陷101根据所述缺陷资讯进行检测判断之后，将所述缺陷资讯储存在一缺陷资料库，并加以分析判断得到一检测等级，以供判断所述第一区域\n11中的各缺陷101是否分别需要进行修补，其中所述检测等级包含：报废、修补以及良好。\n[0032] 如上所述，相较于现有玻璃基板的缺陷检测方法虽能应用自动光学检测在大范围粗略的检测缺陷，却需在后续的复检判断及分类步骤中逐一检视所有缺陷，而导致无法提升检测效率及降低检测成本等缺点，本发明玻璃基板的缺陷检测方法通过利用区域分类为基准，而可以自动分类缺陷，亦即可以先将缺陷位置区分成落在会影响产品良率的区域(即具有电路的区域)及不影响产品良率的区域(即具有像素电极的区域)，以减少后续检测(review)缺陷决定缺陷是否需要修补的作业次数及所需时间，因此确实可以有效提升检测效率及降低检测成本。\n[0033] 本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。\n必需指出的是，已公开的实施例并未限制本发明的范围。相反地，包含于权利要求书的精神及范围的修改及均等设置均包括于本发明的范围内。