缺陷修复装置和缺陷修复方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910204215.4
IPC分类号：G02F1/1362;B23K26/00
申请日期：
2009-10-14
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著录项信息

专利名称	缺陷修复装置和缺陷修复方法
申请号	CN200910204215.4	申请日期	2009-10-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/1362 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕 G02F1/133 构造上的设备；液晶单元的工作；电路装置（用于控制矩阵中液晶元件并且在结构上不与这些元件相连的装置或电路入G09G 3/36）〔3，7〕 G02F1/136 结构上与一半导体层或基片相结合的液晶单元，例如形成集成电路部分的液晶单元（G02F 1/135优先）〔5〕 G02F1/1362 有源矩阵寻址单元〔7〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;6;2;;;B;2;3;K;2;6;/;0;0查看分类表>
申请人	暂无	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	索尼株式会社	当前权利人	索尼株式会社
发明人	筒井亚希子
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李渤

摘要

本发明涉及缺陷修复装置和缺陷修复方法。该缺陷修复装置包括缺陷检测单元、数据库、缺陷修复单元和控制单元。缺陷检测单元检查其上形成有重复图案的多层基板，并且提取关于重复图案中的缺陷的位置信息和关于缺陷的特征信息。多个缺陷修复技术被登记在数据库中。缺陷修复单元利用指定的缺陷修复技术来修复多层基板的缺陷。控制单元读取针对缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且利用该缺陷修复技术来控制修复缺陷的缺陷修复单元。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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