将前体层转换成光伏吸收体的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200680044124.3
IPC分类号：C23C14/34;C23C14/00;C23C16/00;C25B9/00;C25B11/00;C25B13/00;H01L21/76;H01L31/00;B05D5/12
申请日期：
2006-10-17
申请人：
索罗能源公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	将前体层转换成光伏吸收体的方法和装置
申请号	CN200680044124.3	申请日期	2006-10-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-11-11	公开/公告号	CN101578386
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;0;0;;;C;2;5;B;9;/;0;0;;;C;2;5;B;1;1;/;0;0;;;C;2;5;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;;;H;0;1;L;3;1;/;0;0;;;B;0;5;D;5;/;1;2查看分类表>
申请人	索罗能源公司	申请人地址	美国加利福尼亚变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	索罗能源公司	当前权利人	索罗能源公司
发明人	B·巴绍尔
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	杜娟

摘要

本发明涉及为辐射检测器和光伏应用制备半导体膜的薄膜的方法和装置。在一个方面中，本发明包括在入口和出口之间的一系列室，每个室含有使衬底从中穿过的间隙，并受温度控制，从而使每个室保持不同温度，和通过有效地移过一系列室，根据预定温度分布对衬底退火。在另一个方面中，每个室被打开和关闭，并当处在关闭位置中时形成密封，在此期间在室的间隙内进行退火。在进一步的方面中，本发明提供了在柔性卷形物的表面上形成IBIIIAVIA族化合物层的方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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