带电粒子束装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201980095455.7
IPC分类号：H01J37/22
申请日期：
2019-04-18
申请人：
株式会社日立高新技术

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法律信息

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著录项信息

专利名称	带电粒子束装置
申请号	CN201980095455.7	申请日期	2019-04-18
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-30	公开/公告号	CN113728411A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/22 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/22 与管子相联的光学或摄影装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;2查看分类表>
申请人	株式会社日立高新技术	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社日立高新技术	当前权利人	株式会社日立高新技术
发明人	小松崎谅
代理机构	北京银龙知识产权代理有限公司	代理人	许静;范胜杰

摘要

关于带电粒子束装置，提供一种能够实现防止与拍摄图像相关的画质劣化的技术。带电粒子束装置具备向试样照射带电粒子束并将试样的信息图像化的拍摄装置和计算机。计算机存储通过多次扫描相同区域而得到的各图像(扫描图像)，将各图像分类为包含劣化图像的图像和不包含劣化图像的图像，保存从不包含劣化图像的图像通过图像累计而得到的目标图像。带电粒子束装置具备存储从包含扫描图像的拍摄装置得到的信息、分类结果以及目标图像等数据的数据库。带电粒子束装置通过对扫描图像中的不包含所选择的劣化图像的图像实施图像累计，从而得到抑制了随机噪声、防止了画质劣化的S/N和锐度高的目标图像。

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