一种多端输出薄膜气敏传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN201010154582.0
IPC分类号：G01N27/22G01N27/02
申请日期：
2010-04-23
申请人：
西安交通大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种多端输出薄膜气敏传感器
申请号	CN201010154582.0	申请日期	2010-04-23
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-09-08	公开/公告号	CN101825596A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/22 通过测试电容量	IPC分类号	G01N27/22;G01N27/02查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市咸宁路*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	李昕;左曙;刘卫华;贺永宁;朱长纯
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	陆万寿

摘要

本发明公开一种多端输出薄膜气敏传感器，同时集成电导信号拾取电极和电容信号拾取电极来获取气体敏感膜上的信号。所述的电导信号拾取电极可以获取气体敏感膜上的电导信号，环形叉指电容信号拾取电极可以获取气体敏感膜上的电容信号。所述环形叉指电容信号拾取电极同时可以作为加热丝，电极上通过电流时产生的电导热可对气体敏感膜进行加热。该气敏传感器集成电导信号和电容信号拾取电极，可同时对电导敏感型和电容敏感型气体进行检测，气敏的选择性和检测精度得到极大的增强。环形叉指电容电极加热，使得吸附的气体短时间内脱附，传感器得以快速恢复到初态，提高传感器的稳定性。同时这种新结构的传感器制造工艺简单，重复性好，灵敏度高，功耗低，生产成本低。

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发明授权

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN101556257A	2009-10-14	2009-05-14	直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法无效专利	西安交通大学
2	CN101126730A	2008-02-20	2007-01-10	一种气敏传感元件的电极部件及其制造方法无效专利	中山大学
3	GB2166247A	暂无	1985-10-22	Gas sensors未知	ATOMIC ENERGY AUTHORITY UK

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN104165920B	2014-08-07	2014-08-07	薄膜传感器阵列及其制备方法有效专利	中国人民解放军空军工程大学
2	CN104165920A	2014-08-07	2014-08-07	薄膜传感器阵列及其制备方法有效专利	中国人民解放军空军工程大学
3	CN105158303A	2015-09-09	2015-09-09	贵金属/贱金属氧化物/石墨烯三元复合气敏材料及制备有效专利	安徽工程大学

一种多端输出薄膜气敏传感器

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