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一种气敏传感元件的电极部件及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200710026326.1
IPC分类号：G01N27/00;H01L21/00
申请日期：
2007-01-10
申请人：
中山大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种气敏传感元件的电极部件及其制造方法
申请号	CN200710026326.1	申请日期	2007-01-10
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-02-20	公开/公告号	CN101126730
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R）	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中山大学	申请人地址	广东省广州市新港西路135号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中山大学	当前权利人	中山大学
发明人	佘峻聪;朱联烽;许宁生;邓少芝;陈军
代理机构	广州新诺专利商标事务所有限公司	代理人	华辉

摘要

本发明公开了一种气敏传感元件的电极部件，包括基片和在该基片上形成的加热电极和气敏信号电极，加热电极和气敏信号电极位于基片的同一端面，加热电极和气敏信号电极之间不接触。该部件可应用于气敏传感元件上，制作成本低且制造效率高，且部件表面温度均匀性及加热效率高，从而可提高气敏传感元件性能。本发明同时还公开了该电极部件的制造方法及使用该电极部件的气敏传感元件。

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