一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920353901.7
IPC分类号：G01Q60/12
申请日期：
2019-03-19
申请人：
广州市本原纳米仪器有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置
申请号	CN201920353901.7	申请日期	2019-03-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/10 STM 〔扫描隧道显微术〕或其设备，例如STM探针〔2010.01〕 G01Q60/12 STS 〔扫描隧道光谱法〕〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;1;2查看分类表>
申请人	广州市本原纳米仪器有限公司	申请人地址	广东省广州市先烈中路100号大院34号楼2A02-A08 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广州市本原纳米仪器有限公司	当前权利人	广州市本原纳米仪器有限公司
发明人	吴浚瀚
代理机构	广州嘉权专利商标事务所有限公司	代理人	胡辉

摘要

本实用新型公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，包括物镜组件和设置在样品上方的探头装置，所述物镜组件位于探头装置上方；所述探头装置包括激光器、微悬臂探针和激光接收器；所述激光器发射的激光经过微悬臂探针的悬臂梁背面反射后被激光接收器接收。本实用新型的物镜组件完全处于探头装置上方，因此不会影响到物镜组件的物镜切换，从而实现了与常规光学显微镜的联用，并且探头装置仅包括了激光器、微悬臂探针和激光接收器，内部构造简单，且不会降低入射激光的光强和样品观测的分辨率。本实用新型作为一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置可广泛应用于扫描探针显微镜等纳米表征领域中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供