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感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法及感光化射线性或感放射线性树脂组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201580013849.5
IPC分类号：G03F7/26;G03F7/039
申请日期：
2015-03-13
申请人：
富士胶片株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法及感光化射线性或感放射线性树脂组合物
申请号	CN201580013849.5	申请日期	2015-03-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2016-11-09	公开/公告号	CN106104386A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;6;;;G;0;3;F;7;/;0;3;9查看分类表>
申请人	富士胶片株式会社	申请人地址	日本东京港区西麻布2丁目26番30号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶片株式会社	当前权利人	富士胶片株式会社
发明人	藤森亨;森弘喜
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	彭雪瑞;臧建明

摘要

本发明的课题在于提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法、及由所述制造方法所制造的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法包括使感光化射线性或感放射线性树脂组合物通过过滤器而进行过滤的过滤步骤，所述过滤步骤使感光化射线性或感放射线性树脂组合物通过孔径为10nm以下的第一过滤器5次以上而进行。

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