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半导体元件及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710096512.2
  • IPC分类号:H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/822;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/04
  • 申请日期:
    2007-04-11
  • 申请人:
    联华电子股份有限公司
著录项信息
专利名称半导体元件及其制造方法
申请号CN200710096512.2申请日期2007-04-11
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-10-15公开/公告号CN101286477
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8234
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;4;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;2;;;H;0;1;L;2;7;/;0;8;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2;;;H;0;1;L;2;7;/;0;4查看分类表>
申请人联华电子股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人联华电子股份有限公司当前权利人联华电子股份有限公司
发明人陈荣庆;游纯青
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波
摘要
一种半导体元件的制造方法,先提供基底,基底包括了高压元件区与低压元件区,且高压元件区具有源极/漏极预定区、接点预定区与沟道预定区。于基底上形成一层第一介电层。然后,移除低压元件区的第一介电层,同时,一并移除高压元件区的源极/漏极预定区、接点预定区的第一介电层。接着,于低压元件区上形成一层第二介电层,其中第二介电层的厚度小于第一介电层的厚度。继而,于沟道预定区与低压元件区上分别形成栅极,而后,于源极/漏极预定区的基底中形成源极/漏极区。

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