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一种钨靶材组件的焊接结构及其焊接方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110481416.X
  • IPC分类号:B23K20/02;B23K20/24;B23K20/26
  • 申请日期:
    2021-04-30
  • 申请人:
    宁波江丰电子材料股份有限公司
著录项信息
专利名称一种钨靶材组件的焊接结构及其焊接方法
申请号CN202110481416.X申请日期2021-04-30
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-07-09公开/公告号CN113084323A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K20/02IPC分类号B;2;3;K;2;0;/;0;2;;;B;2;3;K;2;0;/;2;4;;;B;2;3;K;2;0;/;2;6查看分类表>
申请人宁波江丰电子材料股份有限公司申请人地址
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波江丰电子材料股份有限公司当前权利人宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;张余
代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司代理人王岩
摘要
本发明提供一种钨靶材组件的焊接结构及其焊接方法,所述焊接结构包括铝盖板、钨靶材、铝中间层和铜背板,铜背板设置有第一放置槽,所述铝中间层设置于第一放置槽中,为第一组合件,铝盖板设置有第二放置槽,所述钨靶材设置于第二放置槽中,为第二组合件,将第一组合件与第二组合件叠放,其中铝中间层与钨靶材相接触,钨靶材中与铝中间层的接触面为第一焊接面,第一焊接面上设置有第一钛金属膜,铜背板中与铝中间层的接触面为第二焊接面,第二焊接面上设置有第二钛金属膜,将所述焊接结构依次进行脱气、扩散焊接和去除包套,得到钨靶材组件,所述钨靶材组件焊接结合率在优选条件下可达到99%以上,便于后续加工安全稳定。

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