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干涉仪以及傅立叶变换分光分析装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201180052338.6
  • IPC分类号:G01J3/45
  • 申请日期:
    2011-09-06
  • 申请人:
    柯尼卡美能达株式会社
著录项信息
专利名称干涉仪以及傅立叶变换分光分析装置
申请号CN201180052338.6申请日期2011-09-06
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2013-07-10公开/公告号CN103201603A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01J3/45IPC分类号G;0;1;J;3;/;4;5查看分类表>
申请人柯尼卡美能达株式会社申请人地址
丹麦希勒罗德 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人福斯分析股份公司当前权利人福斯分析股份公司
发明人平尾祐亮
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人李洋;杨林森
摘要
干涉仪(1)基于参照光检测器(25)的检测结果来检测移动镜(16)的位置,并且对测定干涉光进行计测,参照光源(21)构成为包含由半导体激光器构成的光源(21a)。参照光学系统(20)具有将从参照光源(21)射出的激光变换成准直光的参照光用准直光学系统(22),上述准直光相对固定镜(15)倾斜入射。

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