利用具有改良的光学访问的双区域气体注射器来访问工艺室的方法和设备

发明专利有效专利

申请号：
CN200780037409.9
IPC分类号：H05H1/00
申请日期：
2007-06-12
申请人：
朗姆研究公司

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著录项信息

专利名称	利用具有改良的光学访问的双区域气体注射器来访问工艺室的方法和设备
申请号	CN200780037409.9	申请日期	2007-06-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-09	公开/公告号	CN101529997
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00）	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	杰夫·A·博加特;伦纳德·沙普利斯;哈米特·辛格
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	周文强;李献忠

摘要

一种沿着轴向路径从工艺室外的分析末端点经过光学访问窗口对该工艺室提供光学访问的注射器。中空罩本体容纳第一及第二工艺气体，并环绕该轴向路径。该本体中的轴套被推向该本体以最小化微粒的产生，并定义将该第一工艺气体注射入该工艺室的第一气体内腔。轴套的第二气体内腔环绕该轴向路径以将该第二工艺气体注射入该工艺室，允许光学信号在该末端点具有想要的信噪比(SNR)。一种方法，在该第二内腔中提供隔膜，将该第二内腔分割为被配置为减少对该光学访问窗口的刻蚀以及该光学访问窗口上的沉积并在分析末端点保持该想要的SNR的孔。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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