一种校准标记位置的装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200910047952.8
IPC分类号：G03F9/00
申请日期：
2009-03-20
申请人：
上海微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种校准标记位置的装置及方法
申请号	CN200910047952.8	申请日期	2009-03-20
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-02	公开/公告号	CN101520613
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	朱健;孙刚
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明提出一种校准标记位置的装置与方法，用于获取标记相对于参考光栅的旋转量。该校准标记位置的装置包括：第一采集单元以及图像处理单元。第一采集单元用于采集并输出所述标记的静态图像数据。图像处理单元耦接第一采集单元，并且包括存储单元以及计算单元。存储单元，用于接收静态图像数据，并将所述标记的静态图像数据转化为数字信号。计算单元耦接存储单元，接收所述数字信号以进行计算，得到旋转量。该校准标记位置的装置及方法，可以减少由于实际标记与硅片存在旋转导致的偏差，提高了测量精度，同时省去测量硅片旋转、然后再摆正或修正的步骤，提高了生产效率，增加了产品良率。

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