三轴谐振电容式微机电加速度计

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202021966019.9
IPC分类号：G01P15/125;G01P15/097
申请日期：
2020-09-10
申请人：
苏州感测通信息科技有限公司

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专利名称	三轴谐振电容式微机电加速度计
申请号	CN202021966019.9	申请日期	2020-09-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5;;;G;0;1;P;1;5;/;0;9;7查看分类表>
申请人	苏州感测通信息科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区02幢313室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州感测通信息科技有限公司	当前权利人	苏州感测通信息科技有限公司
发明人	苏岩
代理机构	南京苏科专利代理有限责任公司	代理人	姚姣阳

摘要

本实用新型揭示了一种三轴谐振电容式微机电加速度计，包括由上至下按序层叠设置的上方盖板层、平面结构层以及下方基底层；平面结构层内包含有四组谐振式微加速度计，四组谐振式微加速度计以中心对称的方式设置、共同完成对水平方向上加速度的检测；上方盖板层及下方基底层二者内部均埋设有电极引线、作为固定基板，且上方盖板层及下方基底层二者与平面结构层中的敏感质量块共同构成差分电容式微加速度计、对完成垂直方向上加速度的检测。本实用新型通过采用面内谐振式检测X轴、Y轴，面外电容式检测Z轴，且三轴均采用差分检测的方式，使得三轴全解耦互不干扰，具有高精度、高稳定性、体积小、环境依赖性小等特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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